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集微网消息，近日，优睿谱宣布完成近亿元A轮融资，本轮融资由基石浦江领投，浑璞投资、星河资本、中南创投、泓湖资本、杭州盟合、景宁灵岸等跟投。本轮融资将用于新产品的研发及量产。同时，该公司宣布启用无锡技术中心和上海金桥研发中心。

优睿谱成立于2021年，是一家半导体前道制程量测设备公司，核心团队由长期从事半导体行业的海归博士和国内资深的IC前道制程量测设备技术团队构成。其自主开发了半导体专用傅里叶变换红外光谱测量设备，可以用来测量外延层厚度及均匀性、元素浓度、硅料杂质含量等。

36氪消息消息显示，优睿谱FTIR设备Eos200Lite可用于碳化硅外延片外延层厚度及均匀性测量，目前已获得多家头部碳化硅基外延厂订单；Eos200/200+、Eos300/300+用于硅基外延片和元素浓度测量设备，也已获得多家头部硅基外延厂和FAB厂订单。（校对/刘沁宇）

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